Piezorezistivni senzor tlaka
Mjerač otpora je jedna od glavnih komponenti piezorezistivnog senzora za deformaciju. Princip rada metalnog mjerača otpora naprezanja temelji se na fenomenu da se otpor mjerača naprezanja adsorbiranog na podlozi mijenja s mehaničkom deformacijom, općenito poznatom kao učinak naprezanja otpora.
Keramički senzor tlaka
Keramički senzor tlaka temelji se na piezorrezistivnom učinku. Pritisak djeluje izravno na prednju površinu keramičke dijafragme, uzrokujući blagu deformaciju. Otpornik s debelim-slojem otisnut je na stražnjoj strani keramičke dijafragme, tvoreći Wheatstoneov most. Zbog piezorezistivnog učinka piezorezistivnog otpornika, most generira visoko linearni naponski signal koji je proporcionalan tlaku i također proporcionalan pobudnom naponu. Standardni signali kalibrirani su na 2,0/3,0/3,3 mV/V, itd., ovisno o rasponu tlaka, i kompatibilni su sa senzorima mjerača naprezanja.
Senzor tlaka od difuznog silicija
Princip rada difuznog silikonskog senzora tlaka također se temelji na piezorrezistivnom efektu. Koristeći ovaj princip, tlak mjerenog medija djeluje izravno na dijafragmu senzora (od nehrđajućeg čelika ili keramike), uzrokujući mikro-pomak dijafragme proporcionalan tlaku medija. To rezultira promjenom otpora senzora. Elektronički sklop detektira ovu promjenu i šalje standardni mjerni signal koji odgovara tom tlaku.
Safirni senzor tlaka
Koristeći princip mjerača naprezanja, ovaj senzor koristi silicij-safir kao poluvodički senzorski element, koji posjeduje neusporedive mjeriteljske karakteristike. Stoga su poluvodički senzorski elementi izrađeni od silicij-safira neosjetljivi na promjene temperature i pokazuju izvrsna radna svojstva čak i pri visokim temperaturama; safir ima jaku otpornost na zračenje; nadalje, senzorski elementi od silicij-safir poluvodiča nemaju p-n drift.
Piezoelektrični senzor tlaka
Piezoelektrični učinak je glavni princip rada piezoelektričnih senzora. Piezoelektrični senzori ne mogu se koristiti za statička mjerenja jer je naboj nakon primjene vanjske sile sačuvan samo kada krug ima beskonačnu ulaznu impedanciju. Budući da to u stvarnosti nije slučaj, piezoelektrični senzori mogu mjeriti samo dinamički stres.